[发明专利]一种上照式X荧光光谱仪及其控制方法

摘要

本发明公开了一种上照式X荧光光谱仪及其控制方法。该上照式X荧光光谱仪包括光管安装单元、探测器单元、准直器、高压组件单元、可移动样品平台、氦气充气单元、控制单元与通道校正单元；通道校正单元包括复合校正片，可移动样品平台在光管和准直器的下方水平设置。测试时，先通过通道校正单元校正，然后启动高压组件单元，激发光管产生X射线穿过准直器，以90°入射角度照射到样品表面，产生的X荧光信号被探测器接收。本发明属于上照式，可避免X射线激发样品产生的散射荧光对光路的污染，同时提高X射线的穿透能力，还可实现X射线备压控制及光谱仪自动校正，且精度高、速度快、稳定性好、实时性强、计算量小、通用性强。

主权项

一种上照式X荧光光谱仪，与一安装有测量软件的电脑连接配合使用，其包括光管安装单元、探测器单元、准直器、高压组件单元、可移动样品平台、开关电源，所述开关电源与高压组件单元相连接，其特征在于，所述上照式X荧光光谱仪还包括氦气充气单元、成像单元、控制单元与通道校正单元；所述光管安装单元包括光管与光管支架，所述光管由所述光管支架支撑，所述光管上方还设置有一光管散热片，所述光管通过卡筋与光管散热片固定连接；所述探测器单元包括探测器、用于支撑所述探测器的探测器安装支架，所述探测器所在平面与所述光管和准直器所在平面相交成45°；所述成像单元位于所述准直器的下方，所述成像单元包括反射镜片、摄像头、激光定位器，所述反射镜片与水平面相交45°设置，位于所述准直器的正下方，并通过一镜子支架固定，所述摄像头水平设置，通过一对相互配合使用的摄像头固定块固定，位于反射镜片的一侧部，所述激光定位器设置于一激光安装块上，并位于所述光管支架的下方、所述准直器的一侧部；所述控制单元包括PID控制器、上位机单元、下位机单元、下位机控制板与上位机软件；所述通道校正单元包括复合校正片；所述可移动样品平台在所述光管和准直器的下方水平设置，所述可移动样品平台包括一主支撑架、一上下移动平台、一前后移动平台与一位于底部的底座，所述主支撑架上设置有一平台限位块。