[发明专利]一种改进的微波等离子体炬装置及应用有效
| 申请号： | 201410135897.9 | 申请日： | 2014-04-06 |
| 公开（公告）号： | CN103945631A | 公开（公告）日： | 2014-07-23 |
| 发明（设计）人： | 于丙文;金伟;金钦汉 | 申请（专利权）人： | 浙江大学 |
| 主分类号： | H05H1/30 | 分类号： | H05H1/30 |
| 代理公司： | 杭州求是专利事务所有限公司 33200 | 代理人： | 张法高;赵杭丽 |
| 地址： | 310027 浙*** | 国省代码： | 浙江;33 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明提供一种改进的微波等离子体炬装置，由外管、中管、内管、多孔同轴定心垫片、耦合环、耦合接头、调谐滑杆、调谐螺母、炬管气路转接头、气路接口螺柱及限位螺钉组成。本发明对传统MPT炬管调谐结构进行改进，实现了调谐螺母的原位旋转调节与调谐滑杆的升降功能分离，简化了与电动器件联动的难度，改进后的结构由于调谐螺母纵向位置不变降低了对调节窗口大小的要求，扩展了调谐螺母下面封闭空间的用途。最终实现调谐螺母的原位旋转调节与调谐滑杆的升降功能分离，易与步进电机通过齿轮啮合/皮带轮相连，实现电动自动反馈调谐功能。可应用于光谱仪等产品中，提高微波等离子体炬在光谱仪等产品中的自动化集成/控制程度。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 改进 微波 等离子体 装置 应用 | ||
【主权项】：
一种改进的微波等离子体炬装置，其特征在于，该装置主要由外管（1）、中管（2）、内管（3）、多孔同轴定心垫片（4）、耦合环（5）、耦合接头（6）、调谐滑杆（7）、调谐螺母（8）、炬管气路转接头（9）、气路接口螺柱（10）以及多个限位螺钉（18）组成，其中，外管（1）内径为20‑28 mm，中管（2）外径为5 ‑10 mm，外管（1）和中管（2）径比为2.3‑5，内管（3）半径为1‑3 mm，外管（1）、中管（2）和内管（3）为三管同轴结构，多孔同轴定心垫片（4） 位于内管（3）和中管（2）之间，该多孔同轴定心垫片（4）带有多个对称小孔以便气路流通，耦合环（5）内壁与中管（2）外壁物理接触，并与耦合接头（6）相连，炬管气路转接头（9）位于外管（1）下方，通过限位螺钉（18）固定其纵向位置，气路接口螺柱（10）与其相连，调谐螺母（8）位于外管（1）下端内部，在限位螺钉（18）的作用下只能转动不能上下位移，调谐滑杆（7）位于调谐螺母（8）内，两者通过螺纹结构啮合，调谐滑杆（7）在限位螺钉（18）的作用下只能上下滑动位移不能转动。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于浙江大学，未经浙江大学许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201410135897.9/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：珩磨机珩磨头
- 下一篇：一种集中供电的高压直流LED路灯系统的保护控制方法
