[发明专利]调节PIN升降机构水平度的方法有效
| 申请号： | 201410136482.3 | 申请日： | 2014-04-04 |
| 公开（公告）号： | CN104975257B | 公开（公告）日： | 2018-04-06 |
| 发明（设计）人： | 张伟 | 申请（专利权）人： | 北京北方华创微电子装备有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/02 | 分类号： | C23C14/02 |
| 代理公司： | 广州华进联合专利商标代理有限公司44224 | 代理人： | 李芙蓉 |
| 地址： | 100176 北京*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明提供一种调节PIN升降机构水平度的方法，所述PIN升降机构包括一个升降托架、三个顶针和支撑装置，三个所述顶针均安装在所述升降托架上，所述升降托架安装在所述支撑装置上，包括如下步骤将晶圆放置在升降机构的顶针上；以其中一个所述顶针的高度为基准高度，调节其余两个所述顶针的高度等于所述基准高度。本发明的调节PIN升降机构水平度的方法通过调节顶针的高度来解决晶圆放置时水平度不高的问题，通过对PIN升降机构进行受力分析，得出对顶针或托架的调节变量，并对PIN升降机构进行调节，提高了放置在PIN升降机构上的晶圆的水平度，有利于后续工艺，并且缩短了水平度调节时间，提高了生产效率。 | ||
| 搜索关键词： | 调节 pin 升降 机构 水平 方法 | ||
【主权项】：
一种调节PIN升降机构水平度的方法，所述PIN升降机构包括一个升降托架、三个顶针和支撑装置，三个所述顶针均安装在所述升降托架上，所述升降托架安装在所述支撑装置上，所述支撑装置对所述升降托架的支撑点仅有一个，其特征在于，包括如下步骤：将晶圆放置在所述PIN升降机构的三个顶针上；以其中一个所述顶针的高度为基准高度，调节其余两个所述顶针的高度等于所述基准高度，以抵消因所述升降托架受力而造成的高度不等。
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