[发明专利]微波辐射退火的系统和方法

摘要

本发明提供了使用微波辐射使半导体结构退火的系统和方法。提供了半导体结构。提供了能够增强半导体结构对微波辐射的吸收的一种或多种能量转换材料。将微波辐射应用于能量转换材料和半导体结构以使用于制造半导体器件的半导体结构退火。检测与半导体结构的一个或多个第一区相关联的第一局部温度。至少部分地基于检测到的第一局部温度来调整应用于能量转换材料和半导体结构的微波辐射。

主权项

一种使用微波辐射使半导体结构退火的方法，所述方法包括：提供半导体结构；提供能够增强所述半导体结构对微波辐射的吸收的一种或多种能量转换材料；将所述微波辐射施加于所述能量转换材料和所述半导体结构，以使制造半导体器件的所述半导体结构退火；检测与所述半导体结构的一个或多个第一区相关联的第一局部温度；以及至少部分地基于检测到的所述第一局部温度来调整施加于所述能量转换材料和所述半导体结构的所述微波辐射，其中，响应于所述微波辐射，所述能量转换材料能够增强与所述半导体结构相关联的电场密度，从而增强所述半导体结构对所述微波辐射的吸收。