[发明专利]一种用于MEMS热管的工质灌注与封装的装置及方法

摘要

本发明属于MEMS热管的制造和封装领域，提供了一种用于MEMS热管的工质灌注与封装的装置及方法。本发明利用真空泵将MEMS热管抽真空，真空度小于1Pa，关闭真空泵出口阀门；将微量进样器的进样器长针穿过液封和软橡胶密封塞直到MEMS热管空腔内，控制微量进样器将液体工质注射进MEMS热管中；将微量进样器和进样器长针拔出，保持进样器长针的末端于该灌注与封装系统的细玻璃管以上部分；对细玻璃管处加热将细玻璃管熔融，密封管口，完成MEMS热管的工质灌注与封装。本发明减小了灌注后封装工艺过程对热管真空度的破坏，提高了可操作性；微量进样器与进样器长针的组合使得灌注精度达到微量进样器的控制精度，实现工质的高精度灌注与封装。

主权项

一种用于MEMS热管的工质灌注与封装的装置，包括真空泵、微量进样器、进样器长针、液封、软橡胶密封塞、三通、玻璃管、MEMS热管、阀和真空计；其特征在于，三通的一端是加工成倒锥形接头，称为倒锥形端，便于放置软橡胶密封塞；三通的另一端与倒锥形端保证同轴，加工成宝塔形接头，称为宝塔形端；第三端的最后一端，称为位置任意端；真空泵通过胶管连接阀，再连接三通的位置任意端；在真空泵与阀之间有真空计，MEMS热管与玻璃管连接，玻璃管通过胶管与三通的宝塔形端；三通的倒锥形端内部用软橡胶密封塞，在软橡胶密封塞的上部加液封，微量进样器与进样器长针通过卡扣连在一起，进样器长针在灌注工质时先后穿过液封和软橡胶密封塞沿三通和玻璃管到达MEMS热管空腔。