[发明专利]涂料组合物有效
| 申请号： | 201410138877.7 | 申请日： | 2009-11-12 |
| 公开（公告）号： | CN103869623B | 公开（公告）日： | 2017-07-21 |
| 发明（设计）人： | F·M·霍利亨;张琳;A·D·迪奥瑟斯;M·李 | 申请（专利权）人： | 默克专利有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/039 | 分类号： | G03F7/039;G03F7/004;G03F7/00 |
| 代理公司： | 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所11038 | 代理人： | 柳冀 |
| 地址： | 德国达*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明公开了抗反射涂料组合物，其包含具有染料或发色团结构部分和交联性官能团的聚合物、任选的交联性组分和一种或多种具有式W─（L─（G））p的光活性化合物，其中W是PAG或Q，其中PAG是光酸产生剂，Q是猝灭剂；每个L是直接键或连接基；每个G独立地是G1或G2；G1是OH；G2是OCH=CH2；p是1‑12。 | ||
| 搜索关键词： | 涂料 组合 | ||
【主权项】：
能够用水性碱性显影剂显影并且涂在正作用光致抗蚀剂下面的正作用底部可光致成像抗反射涂料组合物，其中所述抗反射涂料组合物包含：聚合物，该聚合物包含至少一种具有羟基和/或羧基的重复单元和至少一种具有吸收性发色团的重复单元；乙烯基醚封端的交联剂，和；一种或多种具有式PAG‑(L‑(OH))p的化合物，其中PAG是光酸产生剂；其中每个L是直接键或连接基；p是1‑12。
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