[发明专利]一种光学系统像质补偿装置

摘要

本发明提出一种光学系统像质补偿装置，包括变形镜和多个微动机构，其特征在于所述多个微动机构通过改变所述变形镜的局部面型，或通过调整微动镜在Z向或θX、θY方向的位置，实现光学系统像质的补偿。本发明提出的一种光学系统像质补偿装置，具有结构简单，装配难度小，且稳定可靠，操作方便的优点。

主权项

一种光学系统像质补偿装置，包括变形镜和多个微动机构，其特征在于：所述多个微动机构通过改变所述变形镜的局部面型，实现光学系统像质的补偿，所述变形镜与微动机构胶结固定，所述微动机构固定在镜座上；所述微动机构包括柔性件、驱动器及运动件；运动件与柔性件连接，并可绕其转动；驱动器推动运动件旋转，使柔性件上下运动；所述微动机构还包括板簧、传感器、固定块、定位销、光杆、支柱及锁紧螺钉；板簧固定在柔性件上，通过锁紧螺钉可以调整板簧的预紧力，改变柔性件可动部分输出刚度；运动件通过定位销与柔性件连接，并可以绕其转动，光杆和支柱分别装配到运动件上，固定块固定于柔性件固定部分，传感器固定于柔性件可动部分，驱动器推到运动件绕定位销旋转，从而使得光杆上下移动，从而推到柔性件可动部分上下运动，并通过传感器测量其与固定块被测面的距离变化，实现对变形镜的面型的改变。