[发明专利]一种氧化锌透明电极发光二极管及其制备方法无效
| 申请号： | 201410139377.5 | 申请日： | 2014-04-09 |
| 公开（公告）号： | CN103972338A | 公开（公告）日： | 2014-08-06 |
| 发明（设计）人： | 张建华;顾文 | 申请（专利权）人： | 上海大学 |
| 主分类号： | H01L33/02 | 分类号： | H01L33/02;H01L33/14;H01L33/00 |
| 代理公司： | 上海上大专利事务所(普通合伙) 31205 | 代理人： | 陆聪明 |
| 地址： | 200444*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种氧化锌透明电极发光二极管，包括蓝宝石衬底、缓冲层、n型氮化镓、量子阱、p型氮化镓、氧化锌保护层、氧化锌基透明电流扩展层、p型金属电极和n型金属电极；所述缓冲层、n型氮化镓、量子阱、p型氮化镓是在MOCVD中从蓝宝石衬底上依次生长；所述的氧化锌保护层沉积在p型氮化镓的表面；所述氧化锌基透明电流扩展层沉积在氧化锌保护层上；所述n型金属电极连接n型氮化镓，所述p型金属电极连接氧化锌基透明电流扩展层。本发明先采用低功率制备氧化锌保护层再采用高功率制备氧化锌电流扩展层能够和p型氮化镓形成较好的欧姆接触，降低了LED芯片的工作电压和提高了LED芯片的可靠性，同时在生产效率上也获得提升。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 氧化锌 透明 电极 发光二极管 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
一种氧化锌透明电极发光二极管，包括蓝宝石衬底（1）、缓冲层（2）、n型氮化镓（3）、量子阱（4）、p型氮化镓（5）、氧化锌保护层（6）、氧化锌基透明电流扩展层（7）、p型金属电极（8）和n型金属电极（9）；其特征在于，所述缓冲层（2）、n型氮化镓（3）、量子阱（4）、p型氮化镓（5）是在MOCVD中从蓝宝石衬底（1）上依次生长；所述的氧化锌保护层（6）沉积在p型氮化镓（5）的表面；所述氧化锌基透明电流扩展层（7）沉积在氧化锌保护层（6）上；所述n型金属电极（9）连接n型氮化镓（3），所述p型金属电极（8）连接氧化锌基透明电流扩展层（7）。
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