[发明专利]电力供给装置和方法及利用该装置和方法的基板处理装置在审
| 申请号： | 201410139668.4 | 申请日： | 2014-04-09 |
| 公开（公告）号： | CN104105329A | 公开（公告）日： | 2014-10-15 |
| 发明（设计）人： | 金龙植;徐元范;朴知训;南承庆 | 申请（专利权）人： | PSK有限公司 |
| 主分类号： | H05H1/46 | 分类号： | H05H1/46 |
| 代理公司： | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人： | 舒艳君;李洋 |
| 地址： | 韩国*** | 国省代码： | 韩国;KR |
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| 摘要： | 本发明涉及能够正确且迅速地将一定电力传输至多个等离子体腔室的电力供给装置和方法及利用该装置和方法的基板处理装置。根据本发明的一个实施例的电力供给装置包含：RF电源部，其提供RF信号；阻抗匹配部，其使被供给上述RF信号的多个负载的阻抗匹配；电力调节部，其包含连接于上述多个负载中的一部分的可变阻抗元件及连接于上述多个负载中的剩余部分的固定阻抗元件，并且调节向各个负载供给的电量；传感器部，其感知对各个负载施加的RF信号；以及控制部，其基于上述传感器部的感知数据而控制上述可变阻抗元件的阻抗。 | ||
| 搜索关键词： | 电力 供给 装置 方法 利用 处理 | ||
【主权项】：
一种电力供给装置，包含：RF电源部，其提供RF信号；阻抗匹配部，其使被供给上述RF信号的多个负载的阻抗匹配；电力调节部，其包含连接于上述多个负载中的一部分的可变阻抗元件及连接于上述多个负载中的剩余部分的固定阻抗元件，且调节向各个负载供给的电量；传感器部，其感知对各个负载施加的RF信号；以及控制部，其基于上述传感器部的感知数据而控制上述可变阻抗元件的阻抗。
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