[发明专利]分体式并行微通道球形气体静压节流器

摘要

本发明公开了一种分体式并行微通道球形气体静压节流器。传统的节流器难以满足系统的超稳定和高刚度的要求。本发明节流器由主体与配合塞组成，其主体成圆柱形，上表面为带有圆形中空的凹球面，与配合塞配合的侧壁均匀的开有多个微通道，微通道与出口段工作面之间成锐角连接，在节流器主体表面的微通道口设有均压槽，相邻均压槽之间用隔栅隔开；配合塞上表面为凹球面，该凹球面曲率半径与节流器主体上表面隔栅曲率半径相同，配合塞与节流器主体采用过盈配合，形成一个完整的凹球面；该凹球面曲率半径大于均压槽曲率半径，便于气体稳定流出；配合塞上表面中心位置开有节流孔。本发明所形成的静压系统气膜具有刚度高和稳定性好特点，适于超精密领域。

主权项

 分体式并行微通道球形气体静压节流器，由节流器主体（1）和配合塞（2）组成，其特征在于：节流器主体（1）成圆柱形，上表面为带有圆形中空的凹球面；配合塞（2）上表面为凹球面，在中心位置开有节流孔（4）；节流器主体（1）与配合塞（2）采用过盈配合，形成完整的凹球面；节流器主体（1）与配合塞（2）配合的侧壁均匀的开有多个微通道（7），微通道口连接的表面分别开设有均压槽（9），相邻均压槽之间用隔栅（8）隔开，均压槽曲率半径小于隔栅曲率半径，隔栅曲率半径与配合塞（2）上表面的凹球面的曲率半径相同；节流器主体上表面的均压槽的中轴线均垂直于该均压槽所在面的边沿，从节流器主体进气孔（3）进入的气体一部分从节流孔射出，另一部分沿微通道、均压槽射出到周围大气。