[发明专利]一种收发分离式激光振动测量系统

摘要

本发明公开了一种收发分离式激光振动测量系统，激光器发射的激光束经分光棱镜分束，其中一路经第一反射棱镜反射到合束镜；另一路经第一光阑、AO声光调制器、第二光阑和反射镜到达目标，目标散射激光经聚焦系统和第二反射棱镜后到达合束镜与本振光合束；激光合束后经第三光阑、检偏器、光电探测器和中频放大器，最后由信号处理器对差频信号进行处理。本发明的优点在于：采取外差式激光干涉测量的原理，实现了对目标的振动、速度和位移等特征进行非接触式测量，具有测量精度高、抗干扰能力强等优点；在外差探测时，采用收发光路分离式设计，使系统光路调节简单，使用更加方便灵活。

主权项

一种收发分离式激光振动测量系统，其特征在于，包括：激光器（1）、分光棱镜（2）、第一反射棱镜（3）、第一光阑（4）、AO声光调制器（5）、第二光阑（6）、反射镜（7）、聚焦系统（9）、第二反射棱镜（10）、合束镜（11）、第三光阑（12）、检偏器（13）、光电探测器（14）、中频放大器（15）和信号处理器（16），激光器（1）发射的激光束经分光棱镜（2）分束，其中一路光束作为外差探测的本振光经第一反射棱镜（3）反射到合束镜（11）进行合束；另一路光束依次经过第一光阑（4）、AO声光调制器（5）、第二光阑（6）和反射镜（7）到达目标（8），目标（8）散射激光经聚焦系统（9）聚焦和第二反射棱镜（10）反射后到达合束镜（11）与本振光合束；激光合束后，依次经过第三光阑（12）、检偏器（13）、光电探测器（14）和中频放大器（15），最后由信号处理器（16）对差频信号进行处理。