[发明专利]钛合金表面磁控溅射制备钛铝金属间化合物涂层的方法

摘要

本发明涉及材料表面改性领域，具体是一种钛合金表面磁控溅射制备钛铝金属间化合物涂层的方法。取经过探伤和缺陷处理的钛铝金属间化合物作为靶材，对靶材表面进行打磨，除去表面氧化膜，采用包套锻造对其进行变形锻造；用丙酮刷洗钛合金试样表面，清除表面油污及其他污染物，再用超声波清洗5min-7min，然后用无水乙醇清洗后烘干；钛合金试样放置于磁控溅射设备的真空室样品台上，靶材安装在磁控溅射靶上，关闭真空室，对试样进行辉光清洗，清洗完成后在100℃-200℃、0.2KV-0.5KV电压、0.1A-0.5A电流下进行磁控溅射，溅射时间为40min-90min。

主权项

钛合金表面磁控溅射制备钛铝金属间化合物涂层的方法，其特征在于按照如下步骤进行：步骤一，取经过探伤和缺陷处理的钛铝金属间化合物作为靶材，对靶材表面进行打磨，除去表面氧化膜，采用包套锻造对其进行变形锻造；步骤二，用丙酮刷洗钛合金试样表面，清除表面油污及其他污染物，再用超声波清洗5 min ‑7min，然后用无水乙醇清洗后烘干；步骤三，把经过步骤二处理的钛合金试样放置于磁控溅射设备的真空室样品台上，把经过步骤一处理的靶材安装在磁控溅射靶上，关闭真空室，对试样进行辉光清洗，清洗完成后在100℃‑200℃、0.2KV‑0.5KV电压、0.1A‑0.5A电流下进行磁控溅射，溅射时间为40 min ‑90min。