[发明专利]一种基于预扫描的轨迹校正调焦调平装置和方法有效
| 申请号： | 201410140997.0 | 申请日： | 2014-04-09 |
| 公开（公告）号： | CN104977821B | 公开（公告）日： | 2017-06-27 |
| 发明（设计）人： | 齐景超;陈飞彪 | 申请（专利权）人： | 上海微电子装备有限公司 |
| 主分类号： | G03F9/00 | 分类号： | G03F9/00;G03F7/20 |
| 代理公司： | 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙)31237 | 代理人： | 屈蘅 |
| 地址： | 201203 上海市浦*** | 国省代码： | 上海;31 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 一种基于预扫描的轨迹校正调焦调平装置，其特征在于，包括一传感器阵列和一水平运动台，在预扫描过程中，所述传感器阵列可对多个采样点进行采样，所述装置可根据传感器的采样结果对被测表面进行拟合，根据采样结果和拟合得到的拟合面之间的差值，所述水平运动台可运动，控制所述传感器阵列整体在x方向上进行位置微调，或传感器阵列中超出阈值的测量值所对应的传感器，在x方向上进行位置微调。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 基于 扫描 轨迹 校正 调焦 平装 方法 | ||
【主权项】：
一种基于预扫描的轨迹校正调焦调平装置，其特征在于，包括一传感器阵列和一水平运动台，在预扫描过程中，水平运动台载着被测物沿y向运动，所述传感器阵列可对多个采样点进行采样，所述装置可根据传感器的采样结果对被测表面进行拟合，根据采样结果和拟合得到的拟合面之间的差值，当该差值超过设定的高度阈值H0时，所述水平运动台可运动，将所述被测物沿x向做微调整，即控制所述传感器阵列整体在x方向上相对于所述被测物进行位置微调；所述被测物上的划线槽的延伸方向与y方向是一致的。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于上海微电子装备有限公司，未经上海微电子装备有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201410140997.0/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：图像形成装置
- 下一篇：一种单排风口匀胶显影腔体
