[发明专利]氧碘化学激光器光学谐振腔调节与监控系统及方法

摘要

本发明涉及氧碘化学激光器光学谐振腔调节与监控系统及方法，包括主控模块、算法模块、数据采集模块、电机控制模块、数字I/O模块、电机驱动数字I/O模块、通讯模块、显示单元和电源模块；方法包括主控模块实时采集压力传感器的腔内压力数据并显示，判断采集腔内压力数据是否超出光腔内压力允许范围；算法模块根据光腔内压力数据发送指令给数字IO模块进而控制电磁阀开关实现压力调节；通过显示单元发送控制信号给电机控制模块进而控制腔镜的X方向和Y方向的电机进行调节，并实时监测电机运行状态。本发明具有实时性强、稳定性高、操作简单、开发成本低等优点，特别适用于氧碘化学激光器的光学谐振腔中。

主权项

氧碘化学激光器光学谐振腔调节与监控系统，包括：主控模块、算法模块、数据采集模块、电机控制模块、数字I/O模块、电机驱动数字I/O模块、通讯模块、显示单元和电源模块；所述主控模块分别与算法模块、数字I/O模块、通讯模块连接，算法模块与数据采集模块、电机控制模块连接、电机驱动数字I/O模块连接，电源模块分别与主控模块、数字I/O模块、数据采集模块、电机控制模块连接；所述通讯模块与显示单元连接；主控模块用于将通过显示单元接收的控制命令发送给数字I/O模块，并将数字I/O模块反馈的电磁阀状态、数据采集模块采集的压力传感器信息和电机驱动数字I/O模块反馈的电机运行状态信息通过显示单元进行实时显示；算法模块用于对数据采集模块采集的压力传感器信息和电机驱动数字I/O模块采集的电机运行状态信息进行运算并发出指令至数字I/O模块和电机控制模块；数字I/O模块用于与电磁阀连接并根据算法模块经主控模块发来的指令控制电磁阀的开闭；数据采集模块用于采集腔内压力传感器数据；电机驱动数字I/O模块与电机控制模块连接，用于通过访问电机控制模块得到电机运行状态信息并反馈至算法模块；还包括腔镜驱动机构，由镜架和推拉杆构成；所述镜架包括中空结构的边框、环状的X方向调节框及Y方向调节框，腔镜嵌于Y方向调节框内部，X方向调节框通过第一转轴设置于Y方向调节框内，Y方向调节框通过第二转轴设置于边框内；在X方向调节框上垂直镜面方向设有第一推拉杆，在Y方向调节框上垂直镜面方向设有第二推拉杆，第一推拉杆和第二推拉杆分别与第一电机和第二电机传动连接，第一、第二电机分别驱动第一、第二推拉杆在垂直于镜体反射面的方向往复移动。