[发明专利]一种干涉型反射探针式光纤微传感器及其制作方法

摘要

本发明公开了一种干涉型反射探针式光纤微传感器及其制作方法，属于微型传感器技术领域。本发明的传感器，包括光纤接入段、光纤锥汇聚段、光纤半球反射段和模式激发器；光纤接入段为圆柱形的未加工裸光纤，光纤半球反射段为半球形结构，光纤锥汇聚段为光纤接入段向光纤半球反射段的锥形过渡；本发明采用熔融法将一段光纤拉制成两段前段为锥段、前端端部为半球头反射面的传感器，在光纤锥汇聚段上采用飞秒激光脉冲技术在锥表面沿径向向内加工微孔，作为模式激发器。本发明的传感器能够检测环境中气体浓度的变化，还可用于检测大范围温度变化。

主权项

一种干涉型反射探针式光纤微传感器，其特征是：包括一体加工而成的光纤接入段、光纤锥汇聚段、光纤半球反射段和模式激发器；光纤接入段为圆柱形的未加工裸光纤，光纤半球反射段为半球形结构，光纤锥汇聚段为光纤接入段向光纤半球反射段的锥形过渡；光纤接入段的直径为选用的光纤的直径；光纤半球反射段的球直径为光纤接入段直径的0.16～0.32倍，光纤锥汇聚段的长度为光纤接入段直径的2.5～4.8倍；在光纤锥汇聚段上与光纤接入段的距离为0.2～0.3倍锥长的位置处向内径向开孔，作为模式激发器，模式激发器的开孔深度至光纤纤芯的一半。