[发明专利]全自动标准椭偏仪的机械传动装置

摘要

本发明提供一种全自动标准椭偏仪的机械传动装置，其包括基座、导轨运动副、入射端和接收端直线运动副、入射端和接收端旋转运动副、三维运动平台。入射端和接收端直线运动副安装于导轨运动副上并提供直线运动；入射端和接收端旋转运动副在背面分别连接至入射端和接收端直线运动副在前面分别安装有椭偏仪的入射端和接收端测量臂，从而使得入射端和接收端测量臂可被驱动沿直线平动或绕转轴转动；三维运动平台可实现待测晶片的三维运动，其中平面两维运动帮助入射端和接收端测量臂实现对待测晶片上的待测点的扫描，沿晶片膜厚方向的第三维移动配合上述直线平动和绕转轴的转动实现测量角的自由变换调节、且角度精度可控。

主权项

全自动标准椭偏仪的机械传动装置，所述全自动标准椭偏仪包括控制装置、机械传动装置、入射端测量臂和接收端测量臂，其特征在于，所述机械传动装置包括：基座，所述基座包括支撑平台和固定于支撑平台上的龙门架；导轨运动副，其固定于龙门架上并具有上导轨、下导轨、以及位于上导轨和下导轨之间的中心槽道；入射端直线运动副和接收端直线运动副，其分别安装于中心槽道内并由各自的第一电机可驱动以允许提供沿中心槽道的相向或反向直线运动；入射端旋转运动副和接收端旋转运动副，其皆可滑动地连接至上导轨和下导轨，所述入射端旋转运动副和接收端旋转运动副在背面分别连接至入射端直线运动副和接收端直线运动副，在前面分别用于供入射端测量臂和接收端测量臂安装，从而使得入射端测量臂和接收端测量臂在入射端直线运动副和接收端直线运动副所提供的相向或反向直线运动的带动下沿中心槽道方向进行相向或反向直线运动，入射端旋转运动副和接收端旋转运动副还分别由各自的第二电机可驱动以允许提供沿所述直线运动所在垂直平面内的旋转运动从而带动入射端测量臂和接收端测量臂在该垂直平面内沿其各自的转轴作相向或反向转动；三维运动平台，其包括平面两维运动装置和其上水平支撑有待测晶片的第三维运动装置，其中平面两维运动装置位于支撑平台上并承载第三维运动装置，所述平面两维运动装置构造成可驱动第三维运动装置进行平面两维移动从而允许入射端测量臂和接收端测量臂扫描待测晶片上的任何待测点，第三维运动装置构造成允许待测晶片沿膜厚方向移动从而配合所述直线运动副和旋转运动副共同实现对入射端测量臂的入射角和接收端测量臂的反射角的调节。