[发明专利]压力温度可调的气体放电等离子体发生装置

摘要

本发明公开了一种压力温度可调的气体放电等离子体发生装置。该装置包括一个能够耐压耐温的压力气罐、等离子体激励器、泵组、加热器、高速采集装置和各种传感器等等组成。等离子体激励器可以将电线接入压力气罐中连接放电件，利用泵组能够让压力气罐中的压力在0-1.1MPa范围内变动，利用加热片可以将其中的气体加热到100℃，高速采集装置可以采集放电时候的电流和电压，还可以通过安装其他传感器测量等离子体亮度等参数。利用本发明，能够为研究气体放电等离子体实验提供不同压力和温度的反应环境，同时可以用于小件材料表面改性和臭氧生成等其他用途。

主权项

一种压力温度可调的气体放电等离子体发生装置，其特征在于，该装置包括：圆筒形的压力气罐(01)，用于为气体放电提供不同压力和温度的气体环境，罐体顶端和底端均安装有法兰盖；安装于压力气罐顶端法兰盖上的安全阀(02)，用于防止充压过高而产生危险，当超过压力气罐所能够承受的最高压力时自动开启放气；开在压力气罐侧壁的高压线入口(03)和地线出口(09)，高压线(11)通过高压线入口(03)接入压力气罐中，地线(10)通过地线出口(09)从压力气罐中引出；对称设置于压力气罐侧壁的两个观察窗(12)，用于观察压力气罐内部的放电现象；开在压力气罐侧壁的传感器接口(13)，用于为各种传感器接入压力气罐中提供气密性良好的通路；泵组(14)，用于通过抽气和充气改变压力气罐内的空气压力；阀门(15)，用于打开和关闭连接压力气罐与泵组之间的通路；等离子体激励器(05)，通过高压线(11)和地线(10)为等离子体放电件进行气体放电提供合适电压和频率的交流电；连接于高压线的电压探头(04)，用于将高压线的高电压衰减后供高速示波器或板卡(07)采集；连接于地线的电流探头(06)，用于将地线中的电流放大后供高速示波器或板卡(07)采集；高速示波器或板卡(07)，用于采集并显示电压探头和电流探头传输的电信号；电脑(08)，用来储存和处理高速示波器或板卡(07)采集到的数据。