[发明专利]一种单排风口匀胶显影腔体在审
| 申请号： | 201410148597.4 | 申请日： | 2014-04-14 |
| 公开（公告）号： | CN104977818A | 公开（公告）日： | 2015-10-14 |
| 发明（设计）人： | 刘莹 | 申请（专利权）人： | 沈阳芯源微电子设备有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/30 | 分类号： | G03F7/30 |
| 代理公司： | 沈阳科苑专利商标代理有限公司 21002 | 代理人： | 何丽英 |
| 地址： | 110168 辽*** | 国省代码： | 辽宁;21 |
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| 摘要： | 本发明涉及半导体制造领域中的匀胶显影设备，具体地说是一种单排风口匀胶显影腔体，包括上匀胶腔体、中匀胶腔体、整流板及下匀胶腔体，其中下匀胶腔体的底部设有一个排风口，所述下匀胶腔体的顶部设有上匀胶腔体，所述上匀胶腔体和下匀胶腔体之间设有中匀胶腔体，所述整流板设置于排风口和晶圆之间。所述整流板为圆环形、并其上沿周向布设有多个孔洞。本发明减少排风口数量、缩小体积的同时，改善了晶圆附近的气流均匀性。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 单排 风口 显影 | ||
【主权项】：
一种单排风口匀胶显影腔体，其特征在于：包括上匀胶腔体(3)、中匀胶腔体(4)、整流板(5)及下匀胶腔体(6)，其中下匀胶腔体(6)的底部设有一个排风口(1)，所述下匀胶腔体(6)的顶部设有上匀胶腔体(3)，所述上匀胶腔体(3)和下匀胶腔体(6)之间设有中匀胶腔体(4)，所述整流板(5)设置于排风口(1)和晶圆之间。
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