[发明专利]电子束-汽化装置以及用于电子束-汽化的方法无效
| 申请号： | 201410148851.0 | 申请日： | 2014-04-14 |
| 公开（公告）号： | CN104120387A | 公开（公告）日： | 2014-10-29 |
| 发明（设计）人： | 埃克哈特·赖因霍尔德;约尔格·法贝尔 | 申请（专利权）人： | 冯·阿登纳有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/30 | 分类号： | C23C14/30;H01J37/305 |
| 代理公司： | 北京品源专利代理有限公司 11332 | 代理人： | 杨生平;钟锦舜 |
| 地址： | 德国德*** | 国省代码： | 德国;DE |
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| 摘要： | 本发明涉及电子束-汽化装置以及用于电子束-汽化的方法。根据不同的实施方式提供电子束-汽化装置(100)，其具有：第一电子束源(102a)，设置用于提供第一电子束(112a)；第二电子束源(102b)，设置用于提供第二电子束(112b)；第一容纳区域(106a)，用于容纳第一材料(118a)；第二容纳区域(106b)，用于容纳第二材料(118b)；第一转向结构(104a)，设置用于将第一电子束(112a)转向到第一容纳区域(106a)；第二转向结构(104b)，设置用于将第二电子束(112b)转向到第二容纳区域(106b)；且其中，第一转向结构(104a)和第二转向结构(104b)相互磁性耦合。 | ||
| 搜索关键词： | 电子束 汽化 装置 以及 用于 方法 | ||
【主权项】：
一种电子束‑汽化装置(100)，具有：第一电子束源(102a)，设置用于提供第一电子束(112a)；第二电子束源(102b)，设置用于提供第二电子束(112b)；第一容纳区域(106a)，用于容纳至少一种第一材料(118a)；第二容纳区域(106b)，用于容纳至少一种第二材料(118b)；第一磁性转向结构(104a)，设置用于将第一电子束(112a)转向到第一容纳区域(106a)；以及第二磁性转向结构(104b)，设置用于将第二电子束(112b)转向到第二容纳区域(106b)；其中，第一转向结构(104a)和第二转向结构(104b)相互磁性耦合。
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