[发明专利]运动平台系统的平面定位补偿方法有效
申请号: | 201410150200.5 | 申请日: | 2014-04-15 |
公开(公告)号: | CN105094051B | 公开(公告)日: | 2018-03-09 |
发明(设计)人: | 党江涛;黄建华;李宾 | 申请(专利权)人: | 睿励科学仪器(上海)有限公司 |
主分类号: | G05B19/404 | 分类号: | G05B19/404 |
代理公司: | 北京市金杜律师事务所11256 | 代理人: | 郑立柱 |
地址: | 201203 上海市*** | 国省代码: | 上海;31 |
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摘要: | 本发明提供一种运动平台系统的平面定位补偿方法,所述运动平台系统包括运动平台以及对运动平台上的物体进行测量的测量机台,该方法包括a、选定标准量具,使其随运动平台一起运动,所述标准量具上具有多个精密等间距图案;b、使用测量机台的图案识别系统识别标准量具上的各个图案在运动平台中的识别坐标值;c、由识别坐标值拟合出图案间距和各个图案的修正坐标值;d、由所述修正坐标值与所述识别坐标值的差值,得出各个图案位置处需要的补偿量。本发明提供的运动平台系统的平面补偿表能在线进行,对运动平台系统的轴正交性和刻度均匀性同时做出补偿,并且在补偿量发生变化时,可以在原有补偿表的基础上对进一步运行的状况进行更新。 | ||
搜索关键词: | 运动 平台 系统 平面 定位 补偿 方法 | ||
【主权项】:
运动平台系统的平面定位补偿方法,所述运动平台系统包括运动平台以及对所述运动平台上的物体进行测量的测量机台,其特征在于,所述方法包括:a、选定标准量具,使其随运动平台一起运动,所述标准量具上具有多个精密等间距图案;b、使用测量机台的图案识别系统识别所述标准量具上的各个所述图案在运动平台中的识别坐标值;c、由所述识别坐标值拟合出图案间距和各个图案的修正坐标值;d、由所述修正坐标值与所述识别坐标值的差值,得出各个图案位置处需要的补偿量。
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