[发明专利]一种硅太阳能电池背板及其制作方法

摘要

本发明公开了一种硅太阳能电池背板及其制作方法，所述硅太阳能电池背板，包括硅片基板和铝膜，其中，所述铝膜印刷在硅片基板上，所述铝膜和硅片基板之间设有钛掺杂层；制作步骤如下：a)首先提供硅片基板；b)接着在硅片基板背表面通过离子注入的方式注入钛原子；c)再将硅片基板放入激光快速熔融系统中，在硅片基板背表面形成钛掺杂层；d)最后对具有钛掺杂层的硅片基板背表面进行铝浆印刷和烧结，形成覆盖在钛掺杂层上的铝膜。本发明提供的硅太阳能电池背板及其制作方法，在硅片基板背面表层均匀掺杂指定浓度范围的钛元素形成红外吸收层，从而可大幅度提高硅太阳能电池对红外波段的吸收系数，进而提高太阳能电池的效率。

主权项

一种硅太阳能电池背板的制作方法，其特征在于，所述硅太阳能电池背板包括硅片基板和铝膜，所述铝膜印刷在硅片基板上，所述铝膜和硅片基板之间设有钛掺杂层，所述钛掺杂层的厚度为10～30nm；所述制作方法包括如下步骤：a)首先提供硅片基板；b)接着在硅片基板背表面通过离子注入的方式注入钛原子；c)再将硅片基板放入激光快速熔融系统中，在硅片基板背表面形成钛掺杂层；d)最后对具有钛掺杂层的硅片基板背表面进行铝浆印刷和烧结，形成覆盖在钛掺杂层上的铝膜；所述步骤c)中激光熔融退火时间为10～20ns，形成的钛掺杂层中的钛掺杂最高浓度为5*1019cm‑3～1*1020cm‑3；所述步骤d)中烧结温度为800℃，烧结时间为20～40s。