[发明专利]基于光激励的音叉式石英晶振谐振频率的测量方法及装置

摘要

本发明涉及音叉式石英晶振谐振频率的测量技术，具体是一种基于光激励的音叉式石英晶振谐振频率的测量方法及装置。解决了目前测量音叉式石英晶振的固有频率时易受外界电磁环境影响使结果不准确的技术问题。一种基于光激励的音叉式石英晶振谐振频率的测量方法，包括以下步骤：（a）对待测音叉式石英晶振采用激光光束进行激励；（b）在对激光光束强度调制的频率进行扫描的同时引入一束探测光；（c）采集固定在空间位置上的一个接收面接收到的反射光强度变化信息，并将其强度转化为相应的电信号；（d）对反射光的电信号进行解调，根据频率响应曲线得到待测音叉式石英晶振的固有频率。本申请有效避免了环境噪声的干扰而且解决了狭小空间的探测难题。

主权项

一种基于光激励的音叉式石英晶振谐振频率的测量方法，其特征在于，包括以下步骤：（a）对待测音叉式石英晶振采用激光光束进行激励，对激光光束的强度进行调制，音叉式石英晶振局部交替性受热冷却过程将造成音叉式石英晶振的振臂整体以调制频率发生微小的振动，使激光光束的强度调制频率在音叉式石英晶振的固有频率附近进行扫描；（b）在对激光光束强度调制的频率进行扫描的同时引入一束探测光入射至音叉式石英晶振的任意一个振臂的外侧面上，探测光打在振臂外侧面后产生的反射光与探测光所在平面呈竖直平面且该平面垂直于音叉式石英晶振的振臂外侧面；探测光与振臂外侧面所成角度为10°~80°；（c）采集固定在空间位置上的一个接收面接收到的反射光因反射方向变化引起的强度变化信息，并将其强度转化为相应的电信号，电信号变化幅度最大时表示此时音叉式石英晶振与激光发生共振；（d）对反射光的电信号进行解调，得到反射光强度变化量随扫描频率变化的频率响应曲线，根据频率响应曲线就可以得到待测音叉式石英晶振的固有频率。