[发明专利]基于X射线几何投影莫尔条纹的精密位移测量装置及方法有效
| 申请号： | 201410153744.7 | 申请日： | 2014-04-16 |
| 公开（公告）号： | CN103900502B | 公开（公告）日： | 2017-01-04 |
| 发明（设计）人： | 吴自玉;王圣浩;王志立;高昆;韩华杰;张灿;杨蒙 | 申请（专利权）人： | 中国科学技术大学 |
| 主分类号： | G01B15/00 | 分类号： | G01B15/00 |
| 代理公司： | 中科专利商标代理有限责任公司11021 | 代理人： | 宋焰琴 |
| 地址： | 230026 安*** | 国省代码： | 安徽;34 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种基于X射线几何投影莫尔条纹的精密位移测量装置，该装置包括：同步辐射加速器，用于产生平行同步X射线光；双晶单色器将X射线光转换为单一波长、高准直的平行X射线；X射线垂直照射顺序平行放置的指示光栅和标尺光栅，以产生莫尔条纹；标尺光栅与运动部件连接在一起；X射线探测器，用于探测莫尔条纹并输出相应的电信号；条纹细分和显示装置，用于对X射线探测器输出的电信号进行条纹细分和显示处理。本发明还公开了一种基于X射线几何投影莫尔条纹的精密位移测量方法。本发明能够提高现有光栅莫尔条纹位移测量技术的分辨率和灵敏度，增加两块光栅之间的距离，降低光栅安装过程中的难度，提高系统使用的稳定性和可靠性。 | ||
| 搜索关键词： | 基于 射线 几何 投影 莫尔 条纹 精密 位移 测量 装置 方法 | ||
【主权项】：
一种基于X射线几何投影莫尔条纹的精密位移测量装置，其特征在于，该装置包括：同步辐射加速器(1)、双晶单色器(2)、指示光栅(3)、标尺光栅(4)、X射线探测器(5)和条纹细分和显示装置(6)，其中：所述同步辐射加速器(1)用于产生平行同步X射线光；所述双晶单色器(2)用于将所述同步辐射加速器(1)产生的平行同步X射线光转换为单一波长、高准直的平行X射线；所述平行X射线垂直照射顺序平行放置的指示光栅(3)和标尺光栅(4)，以产生莫尔条纹；其中，所述指示光栅(3)用于对X射线进行振幅调制；所述标尺光栅(4)用于对穿过指示光栅(3)的X射线进行振幅调制；所述标尺光栅(4)与运动部件连接在一起，所述运动部件的运动方向与所述标尺光栅(4)的刻线方向近似垂直；所述X射线探测器(5)置于所述标尺光栅(4)之后，用于探测所述莫尔条纹，并输出相应的电信号；所述条纹细分和显示装置(6)置于所述X射线探测器(5)之后，用于对所述X射线探测器(5)输出的电信号进行条纹细分和显示处理，以进行数显控制。
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