[发明专利]一种激光微加工过程的反射式监测装置

摘要

本发明公开了一种激光微加工过程的反射式监测装置，包括氦氖激光器，所述氦氖激光器前端发射出的探测激光束发射线路上设置有工件，工件的探测激光束反射线路上设置有第一光电探头，氦氖激光器前端探测激光束发射线路中部设置有激光分束片，所述激光分束片将探测激光束具体分成参考信号和反射光信号，反射光信号经过被工件的反射后进入第一光电探头，参考光信号前端设置有第二光电探头，参考光信号直接进入第二光电探头，第一光电探头上固定设置有第一数据线，第二光电探头上固定设置有第二数据线，第一数据线和第二数据线之间设置有示波器。上述技术方案，结构简单、适用性强、成本低廉、采集数据量小、采集速度快。

主权项

一种激光微加工过程的反射式监测装置，包括氦氖激光器（1），其特征在于：所述氦氖激光器（1）前端发射出的探测激光束（11）发射线路上设置有工件（2），所述工件（2）的探测激光束（11）反射线路上设置有第一光电探头（3），且氦氖激光器（1）前端探测激光束（11）发射线路中部设置有激光分束片（4），通过所述激光分束片（4）将探测激光束（11）具体分成参考信号（41）和反射光信号（42），反射光信号（42）经过被工件（2）的反射后进入第一光电探头（3），所述参考光信号（41）前端设置有第二光电探头（5），参考光信号（41）直接进入第二光电探头（5），所述第一光电探头（3）上固定设置有第一数据线（6），第二光电探头（5）上固定设置有第二数据线（7），所述第一数据线（6）和第二数据线（7）之间设置有示波器（8），且第一数据线（6）和第二数据线（7）均与示波器（8）电连接。