[发明专利]一种多晶硅生产过程中HCl的回收方法无效
| 申请号： | 201410155393.3 | 申请日： | 2014-04-17 |
| 公开（公告）号： | CN103922286A | 公开（公告）日： | 2014-07-16 |
| 发明（设计）人： | 赵华;王雪莲 | 申请（专利权）人： | 天津市华瑞奕博化工科技有限公司 |
| 主分类号： | C01B7/07 | 分类号： | C01B7/07 |
| 代理公司： | 天津市北洋有限责任专利代理事务所 12201 | 代理人： | 宋洁瑾 |
| 地址： | 300384 天津市南开*** | 国省代码： | 天津;12 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种多晶硅生产过程中HCl的回收方法，包括以下步骤：(1)将多晶硅生产过程中的尾气送入吸收塔，所述的吸收塔以四氯化硅为吸收剂，所述的吸收塔的塔顶排出经HCl膨胀制冷冷却器冷却的气相轻组分并且液相回流至吸收塔顶，所述的吸收塔的塔釜排出重组分和HCl，并送入精馏塔精馏；(2)所述的精馏塔的塔顶馏分进入精馏塔顶设置的分凝器冷凝，经分凝器冷凝的液相全部回流同时气相进入深冷器冷凝后以液相采出HCl，深冷器中采出的含有少量的轻组分和HCl的混合物气相返回吸收塔作为进料。本发明采用吸收和精馏组成的回收系统，可以回收HCl，采用了能量集成优化系统，对产品HCl采用膨胀制冷回收冷源，不增加冷冻机就可获得低于-35℃以下的温度的冷源，降低了能耗。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 多晶 生产过程 hcl 回收 方法 | ||
【主权项】：
一种多晶硅生产过程中HCl的回收方法，其特征在于它包括以下步骤：(1)将多晶硅生产过程中的尾气送入吸收塔，所述的吸收塔以四氯化硅为吸收剂，所述的吸收塔的塔顶排出经HCl膨胀制冷冷却器冷却的气相轻组分并且液相回流至吸收塔顶，所述的吸收塔的塔釜排出重组分和HCl，并送入精馏塔精馏；(2)所述的精馏塔的塔顶馏分进入精馏塔顶设置的分凝器冷凝，经分凝器冷凝的液相全部回流同时气相进入深冷器冷凝后以液相采出HCl，深冷器中采出的含有少量的轻组分和HCl的混合物气相返回吸收塔作为进料。
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