[发明专利]一种低飞移高度面内磁性图像识别传感器芯片

摘要

本发明公开了一种低飞移高度面内磁性图像识别传感器芯片，该传感器芯片包括表面开有深坑的Si衬底、磁电阻传感器、绝缘层，所述磁电阻传感器位于所述Si衬底的深坑底表面上，所述绝缘层位于所述磁电阻传感器之上，工作时磁性图像检测面与Si衬底表面共面或平行，所述磁电阻传感器的输入输出端直接与引线实现引线键合连接，或者通过焊盘，还可以通过导电柱和焊盘与引线实现引线键合连接，且所述引线飞移高度低于所述Si衬底表面的高度。本发明具有结构紧凑、不需封装、可以直接和磁性图像接触、输出信号强的优点。

主权项

一种低飞移高度面内磁性图像识别传感器芯片，用于检测磁性图像，包括：表面开有深坑的Si衬底、磁电阻传感器、绝缘层，所述磁电阻传感器位于所述Si衬底上深坑的底表面，所述绝缘层位于所述磁电阻传感器之上，所述的绝缘层上对应于所述的磁电阻传感器的输入输出端形成有窗口，所述磁电阻传感器的输入输出端在所述窗口处直接\通过焊盘\通过导电柱和焊盘与引线实现引线键合连接，所述导电柱连接所述磁电阻传感器的输入输出端和焊盘，所述焊盘位于所述磁电阻传感器的输入输出端或所述导电柱之上，所述磁性图像所在平面为磁性图像检测面，所述磁性图像在所述磁性图像检测面内的相对于所述磁电阻传感器工作时移动的方向为扫描方向，其特征在于，所述引线的飞移高度低于所述Si衬底表面的高度，且所述磁性图像检测面平行或共面于所述Si衬底的表面。