[发明专利]无衍射斑干涉仪有效
申请号: | 201410157909.8 | 申请日: | 2014-04-18 |
公开(公告)号: | CN104019738B | 公开(公告)日: | 2018-03-02 |
发明(设计)人: | 祝沛 | 申请(专利权)人: | 上海乾曜光学科技有限公司 |
主分类号: | G01B9/02 | 分类号: | G01B9/02;G01N21/45 |
代理公司: | 上海汉声知识产权代理有限公司31236 | 代理人: | 郭国中 |
地址: | 201807 上海市*** | 国省代码: | 上海;31 |
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摘要: | 本发明提供了一种无衍射斑干涉仪,包括投光部和成像部;所述投光部包括激光器、反射镜、旋转毛玻璃、分光棱镜、分光板以及第一准直镜;所述成像部包括标准镜、样品承载部以及图像传感器;其中,激光器发射出的激光经第一反射镜反射后依次通过旋转毛玻璃、分光棱镜、分光板以及第一准直镜形成平行光射出;平行光经所述标准镜照射所述样品承载部上的待测样品;再经待测样品和标准镜反射后返回并依次通过第一准直镜、分光板以及分光棱镜入射所述图像传感器。本发明中由马达驱动的旋转毛玻璃放置在光源部分,马达与旋转毛玻璃的同轴稳定、震动等因素对成像系统几乎没有影响;本发明简化了结构,降低了成本。 | ||
搜索关键词: | 衍射 干涉仪 | ||
【主权项】:
一种无衍射斑干涉仪,其特征在于,包括投光部和成像部;所述投光部包括激光器、第一反射镜、旋转毛玻璃、分光棱镜、分光板以及第一准直镜;所述成像部包括标准镜、样品承载部以及图像传感器;其中,激光器发射出的激光经第一反射镜反射后依次通过旋转毛玻璃、分光棱镜、分光板以及第一准直镜形成平行光射出;平行光经所述标准镜照射所述样品承载部上的待测样品;再经待测样品和标准镜反射后返回并依次通过第一准直镜、分光板以及分光棱镜入射所述图像传感器;还包括马达,所述马达驱动所述旋转毛玻璃旋转;还包括C‑Lens透镜,所述C‑Lens透镜配合所述旋转毛玻璃使依次入射旋转毛玻璃和C‑Lens透镜的激光形成面光源并向所述分光棱镜发射球面光。
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