[发明专利]具有波导结构光子晶体发光二极管的制作方法有效
| 申请号： | 201410158350.0 | 申请日： | 2014-04-18 |
| 公开（公告）号： | CN103904175A | 公开（公告）日： | 2014-07-02 |
| 发明（设计）人： | 甄爱功;马平;张勇辉;田迎冬;郭恩卿;王军喜;李晋闽 | 申请（专利权）人： | 中国科学院半导体研究所 |
| 主分类号： | H01L33/00 | 分类号： | H01L33/00 |
| 代理公司： | 中科专利商标代理有限责任公司 11021 | 代理人： | 任岩 |
| 地址： | 100083 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 一种具有波导结构光子晶体发光二极管的制作方法，包含：在衬底上依次外延形核层、非掺杂氮化镓层、n型氮化镓层、有源层、电子阻挡层和p型氮化镓层；在p型氮化镓层的表面旋涂第一光刻胶；在第一光刻胶上制作第一单层纳米球薄膜；光刻，在第一光刻胶上形成图形；以第一光刻胶作为掩膜，刻蚀p型氮化镓层，在p型氮化镓层上形成多孔状或柱状的光子晶体；在多孔状的光子晶体表面旋涂第二光刻胶；在第二光刻胶上制作第二单层纳米球薄膜；光刻，在第二光刻胶上形成图形；以第二光刻胶作为掩膜，刻蚀p型氮化镓层，在多孔状的光子晶体上形成具有波导结构的光子晶体；制作电极，完成正装结构的制作。 | ||
| 搜索关键词： | 具有 波导 结构 光子 晶体 发光二极管 制作方法 | ||
【主权项】：
一种具有波导结构光子晶体发光二极管的制作方法，包含以下步骤：步骤1：在衬底上依次外延形核层、非掺杂氮化镓层、n型氮化镓层、有源层、电子阻挡层和p型氮化镓层；步骤2：在p型氮化镓层的表面旋涂第一光刻胶；步骤3：在第一光刻胶上制作第一单层纳米球薄膜；步骤4：光刻，在第一光刻胶上形成图形；步骤5：以第一光刻胶作为掩膜，刻蚀p型氮化镓层，在p型氮化镓层上形成多孔状或柱状的光子晶体；步骤6：在多孔状的光子晶体表面旋涂第二光刻胶；步骤7：在第二光刻胶上制作第二单层纳米球薄膜；步骤8：光刻，在第二光刻胶上形成图形；步骤9：以第二光刻胶作为掩膜，刻蚀p型氮化镓层，在多孔状的光子晶体上形成具有波导结构的光子晶体；步骤10：制作电极，完成正装结构的制作。
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