[发明专利]一种多层AlCrN切削刀具涂层及其制备方法有效
| 申请号： | 201410158509.9 | 申请日： | 2014-04-18 |
| 公开（公告）号： | CN103898445A | 公开（公告）日： | 2014-07-02 |
| 发明（设计）人： | 张世宏;王启民;李福星;方炜 | 申请（专利权）人： | 常州多晶涂层科技有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/06 | 分类号： | C23C14/06;C23C14/46;B32B15/04;B32B9/04 |
| 代理公司： | 北京天平专利商标代理有限公司 11239 | 代理人： | 王雅辉 |
| 地址： | 213164 江苏省常州市武进国*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种多层AlCrN切削刀具涂层及其制备方法，所述Cr界面植入层沉积于刀具基体的表面，Cr界面植入层的厚度为50～300nm；CrN结合层的厚度为0.1～1μm，CrN/AlCrN支撑层的厚度为0.5～3μm；AlCrN功能层的厚度为1～3μm；所述CrN/AlCrN支撑层为CrN和AlCrN调制纳米多层渐变结构，调制周期为2～10nm。对基体表面进行辉光清洗；打开金属Cr靶，沉积Cr界面植入层，沉积CrN结合层；开启Cr金属和AlCr合金靶，沉积CrN/AlCrN支撑层；沉积AlCrN功能层。具有超过60N的结合力，40GPa的硬度，低达0.3的摩擦系数，刀具寿命可提高5倍以上。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 多层 alcrn 切削 刀具 涂层 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
一种多层AlCrN切削刀具涂层，其特征在于，包括由下至上依次沉积于刀具基体表面的Cr界面植入层、CrN结合层、CrN/AlCrN支撑层和AlCrN功能层；所述Cr界面植入层沉积于刀具基体的表面，Cr界面植入层的厚度为50～300nm；CrN结合层的厚度为0.1～1μm，CrN/AlCrN支撑层的厚度为0.5～3μm；AlCrN功能层的厚度为1～3μm；所述CrN/AlCrN支撑层为CrN和AlCrN调制纳米多层渐变结构，调制周期为2～10nm。
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