[发明专利]一种硅烷热分解生产纳米级高纯硅粉的装置及方法

摘要

本发明公开了一种硅烷热分解生产纳米级高纯硅粉的装置及方法。包括硅烷热分解系统、硅粉过滤收集系统及尾气回收处理系统，所述的硅烷分解系统包括反应气硅烷管线、反应气氢气管线、配比缓冲罐、硅烷管式反应器、尾气冷却器，硅粉过滤收集系统包括氢气反吹过滤器管线、一级硅粉过滤器、二级硅粉过滤器、一级硅粉收集仓、二级硅粉收集仓、真空泵、一级硅粉出口管线、二级硅粉出口管线，尾气回收处理系统包括尾气深冷器、压缩机、吸附塔、气液分离罐、气液分离罐液态硅烷出口管线、气液分离罐氢气出口管线。本发明适用于工业纳米级高纯硅粉的生产，可有效收集粒径为30nm以上的硅粉，尾气全部回收使用，无污染排放，具有投资少、成本低等优势。

主权项

一种硅烷热分解生产纳米级高纯硅粉的装置，其特征在于，包括硅烷热分解系统、硅粉过滤收集系统及尾气回收处理系统，所述的硅烷分解系统包括反应气硅烷管线（1）、反应气氢气管线（2）、配比缓冲罐（3）、硅烷管式反应器（4）、尾气冷却器（5），反应气硅烷管线（1）、反应气氢气管线（2）与配比缓冲罐（3）相连，配比缓冲罐（3）、硅烷管式反应器（4）、尾气冷却器（5）顺次相连，硅粉过滤收集系统包括氢气反吹过滤器管线（6）、一级硅粉过滤器（7）、二级硅粉过滤器（8）、一级硅粉收集仓（9）、二级硅粉收集仓（10）、真空泵（11）、一级硅粉出口管线（12）、二级硅粉出口管线（13），氢气反吹过滤器管线（6）一端与反应气氢气管线（2）相连，氢气反吹过滤器管线（6）另一端分别与一级硅粉过滤器（7）、二级硅粉过滤器（8）相连，尾气冷却器（5）、一级硅粉过滤器（7）、二级硅粉过滤器（8）顺次相连，一级硅粉过滤器（7）、一级硅粉收集仓（9）、一级硅粉出口管线（12）顺次相连，二级硅粉过滤器（8）、二级硅粉收集仓（10）、二级硅粉出口管线（13）顺次相连，一级硅粉收集仓（9）、二级硅粉收集仓（10）分别与真空泵（11）相连，尾气回收处理系统包括尾气深冷器（14）、压缩机（15）、吸附塔（16）、气液分离罐（17）、气液分离罐液态硅烷出口管线（18）、气液分离罐氢气出口管线（19），二级硅粉过滤器（8）、尾气深冷器（14）、压缩机（15）、吸附塔（16）、气液分离罐（17）、气液分离罐液态硅烷出口管线（18）顺次相连，气液分离罐（17）通过气液分离罐氢气出口管线（19）与配比缓冲罐（3）相连。