[发明专利]一种生长过程可视的用于石墨烯制备的真空腔

摘要

一种生长过程可视的用于石墨烯制备的真空腔，涉及石墨烯的制备。设腔体、上下观察口、卡紧装置、进出气门；上下观察口通过上下观察口法兰分别与腔体焊接，腔体顶部设密封法兰，密封法兰上设环形凹槽，槽内设上观察口法兰密封圈，上观察口法兰与密封法兰连接，上观察口法兰上设腔体上法兰，上观察口法兰与腔体上法兰焊接，在上观察口法兰上设有上观察口密封圈，腔体上法兰上设顶部法兰，顶部法兰与腔体上法兰连接，卡紧装置设压片夹、螺钉和螺纹柱；压片夹一端由螺钉和螺纹柱固定在下观察口法兰上；进出气门分别设于腔体的侧壁上，在下观察口法兰下焊接有腔体下法兰，在腔体下法兰下方设有下观察口密封圈，在腔体下法兰底部焊接底部法兰。

主权项

一种生长过程可视的用于石墨烯制备的真空腔，其特征在于设有腔体、上观察口、下观察口、卡紧装置、进气门、出气门；所述上观察口和下观察口通过上观察口法兰和下观察口法兰分别与腔体焊接，腔体顶部设有密封法兰，密封法兰上设有环形凹槽，环形凹槽内设有上观察口法兰密封圈，上观察口法兰通过螺栓与密封法兰连接，上观察口法兰上设有腔体上法兰，上观察口法兰与腔体上法兰焊接，在上观察口法兰上设有上观察口密封圈，腔体上法兰上设有顶部法兰，顶部法兰与腔体上法兰通过螺栓连接，所述卡紧装置设有压片夹、螺钉和螺纹柱，压片夹的一端由螺钉和螺纹柱固定在下观察口法兰上，压片夹的另一端将加工器件夹紧在密封法兰上；进气门和出气门分别设于腔体的侧壁上，在下观察口法兰下焊接有腔体下法兰，在腔体下法兰下方设有下观察口密封圈，在腔体下法兰底部焊接底部法兰，底部法兰作为整个真空腔的底部。