[发明专利]光学系统、太赫兹发射显微镜和用于制造器件的方法有效
| 申请号： | 201410162917.1 | 申请日： | 2014-04-22 |
| 公开（公告）号： | CN104142571B | 公开（公告）日： | 2018-12-11 |
| 发明（设计）人： | 山名广章;鎌田将尚 | 申请（专利权）人： | 索尼公司 |
| 主分类号： | G02B17/08 | 分类号： | G02B17/08;G02B21/00 |
| 代理公司： | 北京信慧永光知识产权代理有限责任公司 11290 | 代理人： | 陈桂香;褚海英 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明提供了光学系统、太赫兹发射显微镜和用于制造器件的方法。所述光学系统包括：提取部，所述提取部的折射率与观察对象的折射率近似相同，所述提取部与所述观察对象在光学上耦合，使得能够提取从所述观察对象生成的太赫兹电磁波；以及椭球面状反射面，所述椭球面状反射面具有第一焦点和第二焦点，所述观察对象被布置于所述第一焦点上，光电导元件被布置于所述第二焦点上，所述光电导元件被构造用于检测由所述提取部提取的所述太赫兹电磁波，所述椭球面状反射面用于将所提取的所述太赫兹电磁波引导至所述光电导元件。本发明能够增大太赫兹电磁波的检测精度。 | ||
| 搜索关键词： | 光学系统 赫兹 发射 显微镜 用于 制造 器件 方法 | ||
【主权项】：
1.一种光学系统，其包括：提取部，所述提取部的折射率与观察对象的折射率近似相同，所述提取部与所述观察对象在光学上耦合，使得能够通过邻近或接近所述观察对象的提取表面提取从所述观察对象生成的太赫兹电磁波；以及椭球面状反射面，所述椭球面状反射面具有第一焦点和第二焦点，所述观察对象被布置于所述第一焦点上，光电导元件被布置于所述第二焦点上，所述光电导元件被构造用于检测由所述提取部提取的所述太赫兹电磁波，所述椭球面状反射面用于将所提取的所述太赫兹电磁波引导至所述光电导元件，其中，在所述提取部的所述提取表面上形成有第一膜构件，所述第一膜构件透射所述太赫兹电磁波且反射脉冲激光。
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