[发明专利]涂布显影设备及其温度控制设备无效
| 申请号： | 201410162957.6 | 申请日： | 2014-04-22 |
| 公开（公告）号： | CN103941773A | 公开（公告）日： | 2014-07-23 |
| 发明（设计）人： | 刘健行;黄章咏;刘刚 | 申请（专利权）人： | 上海和辉光电有限公司 |
| 主分类号： | G05D23/22 | 分类号： | G05D23/22 |
| 代理公司： | 隆天国际知识产权代理有限公司 72003 | 代理人： | 赵根喜;吕俊清 |
| 地址： | 201500 上海市金*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种涂布显影设备及其温度控制设备，该温度控制设备包括至少一个热传感器和温度调整装置；该热传感器插设于调整板中的中空的顶杆中，该顶杆用于支撑基板；该温度调整装置根据该热传感器检测到的该基板的温度，对该基板进行温度控制。本发明通过将热传感器设置于涂布显影设备的调整板的顶杆中，使得能够直接对基板的温度进行测量，对玻璃板的温度进行实时的反应和调整。 | ||
| 搜索关键词： | 显影 设备 及其 温度 控制 | ||
【主权项】：
一种涂布显影设备的温度控制设备，包括：至少一个热传感器和一温度调整装置；所述热传感器固定于至少一顶杆，所述顶杆以顶部支撑一基板；所述温度调整装置根据所述热传感器检测到的所述基板的温度，对所述基板进行温度控制。
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