[发明专利]探针卡装置在审
申请号: | 201410163458.9 | 申请日: | 2014-04-22 |
公开(公告)号: | CN103969475A | 公开(公告)日: | 2014-08-06 |
发明(设计)人: | 沈茜;莫保章 | 申请(专利权)人: | 上海华力微电子有限公司 |
主分类号: | G01R1/073 | 分类号: | G01R1/073 |
代理公司: | 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237 | 代理人: | 王宏婧 |
地址: | 201203 上海市*** | 国省代码: | 上海;31 |
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摘要: | 本发明提供一种探针卡装置,包括探针卡和探针卡平台,所述探针卡平台具有凹槽,所述凹槽用于放置所述探针卡,所述探针卡的外侧设置有至少一个接触孔以便于放置或移动所述探针卡,所述接触孔与所述凹槽相连通。本发明提供的一种探针卡装置能够方便的移动探针卡和进行测试。 | ||
搜索关键词: | 探针 装置 | ||
【主权项】:
一种探针卡装置,包括探针卡和探针卡平台,所述探针卡平台具有凹槽,所述凹槽用于放置所述探针卡,其特征在于,所述探针卡的外侧设置有至少一个接触孔以便于放置或移动所述探针卡,所述接触孔与所述凹槽相连通。
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