[发明专利]彩色滤光片柱状隔垫物形状矫正方法有效
| 申请号： | 201410163997.2 | 申请日： | 2014-04-23 |
| 公开（公告）号： | CN103941483A | 公开（公告）日： | 2014-07-23 |
| 发明（设计）人： | 黎敏;杨同华;肖宇;姜晶晶;万冀豫;查长军 | 申请（专利权）人： | 京东方科技集团股份有限公司;北京京东方显示技术有限公司 |
| 主分类号： | G02F1/1339 | 分类号： | G02F1/1339;G03F7/20 |
| 代理公司： | 北京路浩知识产权代理有限公司 11002 | 代理人： | 李迪 |
| 地址： | 100015 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明涉及液晶显示技术领域，具体公开了一种彩色滤光片柱状隔垫物形状矫正方法，包括对于确定的产线特性和光刻胶特性，采用测试掩膜板在平坦的隔垫物基底上制作单层柱状隔垫物，测量柱状隔垫物与设计值的差异，得到针对曝光机光线平行度的补正值，通过不同尺寸的隔垫物基底和柱状隔垫物，建立柱状隔垫物与设计值的偏差模型，得到针对尺寸的偏差值，根据所述补正值、偏差值以及掩膜板设计开口值得到矫正后的柱状隔垫物形状。本发明在柱状隔垫物制作工艺中，很好的保持上底形貌，解决了柱状隔垫物形貌因隔垫物基底不平而上底形貌变化很大，无法实现各方向理想支撑的问题，同时，这种矫正方法也能为柱状隔垫物位置及尺寸设计提供更大的空间选择。 | ||
| 搜索关键词： | 彩色 滤光 柱状 隔垫物 形状 矫正 方法 | ||
【主权项】：
一种彩色滤光片柱状隔垫物形状矫正方法，其特征在于，所述矫正方法包括：对于确定的产线特性和光刻胶特性，采用测试掩膜板在平坦的隔垫物基底上制作单层柱状隔垫物，测量柱状隔垫物从其中心沿各方向到其边缘的距离与设计值的差异，得到针对曝光机光线平行度的补正值；对于上述确定的产线特性和光刻胶特性，通过不同尺寸的隔垫物基底和柱状隔垫物，建立柱状隔垫物从其中心沿各方向到其边缘的距离与设计值的偏差模型，得到针对隔垫物基底和柱状隔垫物尺寸的偏差值；根据所述补正值、偏差值以及柱状隔垫物设计值对应的掩膜板设计开口值得到矫正后的柱状隔垫物形状。
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