[发明专利]三轴硅谐振式加速度计闭环驱动控制与频率检测电路有效
| 申请号： | 201410164579.5 | 申请日： | 2014-04-22 |
| 公开（公告）号： | CN103901226B | 公开（公告）日： | 2017-01-18 |
| 发明（设计）人： | 杨波;赵辉;柳小军;戴波;王行军;邓允朋 | 申请（专利权）人： | 东南大学 |
| 主分类号： | G01P15/097 | 分类号： | G01P15/097;G01P21/00 |
| 代理公司： | 南京苏高专利商标事务所(普通合伙)32204 | 代理人： | 肖明芳 |
| 地址： | 210096 *** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明公开一种三轴硅微谐振式加速度计闭环驱动控制和频率检测电路，其特征在于，包含若干个方向上的加速度计驱动控制和频率检测电路，其中一个方向上的加速度计驱动控制和频率检测电路包括双轴硅微谐振式加速度计、第一接口放大电路、第二接口放大电路、第一幅度控制电路、第二幅度控制电路、第一相位控制电路、第二相位控制电路、第一调制控制电路、第二调制控制电路、信号频率检测电路。本发明与现有技术相比，该三轴硅微谐振式加速度计的闭环驱动控制与频率检测方法具有精度高、体积小、功耗低、易于集成、使用方便等优点。 | ||
| 搜索关键词： | 三轴硅 谐振 加速度计 闭环 驱动 控制 频率 检测 电路 | ||
【主权项】：
一种三轴硅微谐振式加速度计闭环驱动控制和频率检测电路，其特征在于，包含三个以上加速度计驱动控制和频率检测电路，所述加速度计驱动控制和频率检测电路包括双轴硅微谐振式加速度计、第一接口放大电路(3)、第二接口放大电路(4)、第一幅度控制电路(7)、第二幅度控制电路(8)、第一相位控制电路(5)、第二相位控制电路(6)、第一调制控制电路(28)、第二调制控制电路(29)、信号频率检测电路(9)，该双轴硅微谐振式加速度计的一路输出信号传送至第一接口放大电路(3)、第一接口放大电路(3)将放大后的信号传送至第一相位控制电路(5)和第一幅度控制电路(7)，第一相位控制电路(5)与第一幅度控制电路(7)分别将相位控制信号和幅度控制信号传送至第一调制控制电路(28)，第一调制控制电路(28)生成驱动信号并传送至双轴微硅谐振式加速度计对应的驱动信号接口；该双轴硅微谐振式加速度计第二路输出信号传送至第二接口放大电路(4)、第二接口放大电路(4)将放大后的信号传送至第二相位控制电路(6)和第二幅度控制电路(8)，第二相位控制电路(6)与第二幅度控制电路(8)分别将相位控制信号和幅度控制信号传送至第二调制控制电路(29)，第二调制控制电路(29)生成驱动信号传送至双轴微硅谐振式加速度计对应的驱动信号接口；其中第一相位控制电路(5)和第二相位控制电路(6)还分别传送信号至信号频率检测电路(9)以测量该双轴硅微谐振式加速度计两路输出信号的频率差。
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