[发明专利]一种具有双位移放大的大行程快速响应X‑Y微动工作台

摘要

本发明涉及一种具有双位移放大的大行程快速响应X‑Y微动工作台，包括底座、运动平台、顶盖、调平螺钉、压电陶瓷、载物台、电容位移传感器等。其中底座、运动平台和顶盖用螺钉固定，压电陶瓷安装在位移放大机构中，用锁紧螺钉固定，电容位移传感器安装在载物台与倒圆角直梁型柔性铰链之间。本发明采用一种应用于微纳米结构的改进型平行四边形位移放大机构，关节部分采用圆形柔性铰链，其刚度决定了位移放大机构的带负载能力以及快速响应性；采用双位移放大机构并联的方式，使得输出力和输出位移加倍，且减小载物台位移耦合；采用对称结构，使系统具有较高带宽和重复精度；采用倒圆角直梁型和平行板柔性铰链的组合结构，位移单向性好。

主权项

一种具有双位移放大的大行程快速响应X‑Y微动工作台，主要包括底座、运动平台、顶盖、调平螺钉、压电陶瓷、载物台、电容位移传感器以及内六角头螺钉，其特点为：调平螺钉安装在底座的四个边角，底座上面是运动平台，运动平台上面是顶盖，底座、运动平台和顶盖三者用四个螺钉固定在一起，第一压电陶瓷安装在第二平行四边形位移放大机构中，用第一锁紧螺钉锁紧固定，第二压电陶瓷安装在第一平行四边形位移放大机构中，用第二锁紧螺钉锁紧固定，第三压电陶瓷安装在第三平行四边形位移放大机构中，用第三锁紧螺钉锁紧固定，第四压电陶瓷安装在第四平行四边形位移放大机构中，用第四锁紧螺钉锁紧固定，第一电容位移传感器安装在载物台右侧、第一倒圆角直梁型柔性铰链和第二倒圆角直梁型柔性铰链之间，第三电容位移传感器安装在载物台下侧、第三倒圆角直梁型柔性铰链和第四倒圆角直梁型柔性铰链之间；所述运动平台中的双平行四边形位移放大机构配置方式，既可实现大比例的位移放大，也可以保证平台具有较大刚度；所述运动平台中倒圆角直梁型和平行板型柔性铰链的组合结构，可实现较好的位移单向性，降低耦合位移。