[发明专利]MEMS陀螺仪测控电路

摘要

本发明公开了一种MEMS陀螺仪测控电路，为基于IP核的SOPC数字处理电路，其特征在于所述IP核接收MEMS陀螺仪驱动轴检测信号，并输出相应的驱动信号；且所述IP核接收MEMS陀螺仪敏感轴检测信号，并输出MEMS陀螺仪的角速率；在现有MEMS陀螺仪的基础上，通过SOPC数字处理技术、电荷放大器、失调电容补偿来实现测控电路的高增益、低噪声，从而提高陀螺整体的稳定性和抗干扰能力的方法来提高陀螺仪的精度。

主权项

MEMS 陀螺仪测控电路，为基于 IP 核的 SOPC 数字处理电路，其特征在于，所述 IP 核接收MEMS 陀螺仪驱动轴检测信号，并输出相应的驱动信号；且所述 IP 核接收 MEMS 陀螺仪敏感轴检测信号，并输出 MEMS 陀螺仪的角速率；所述驱动轴检测信号作为载波信号经 LMSD解调电路解调后，其正交分量经 Butterworth 4 阶低通滤波器进行滤波处理，进行幅度设定后通过 PI 控制器进行幅度闭环；其同相分量经 Butterworth 4 阶低通滤波器进行滤波处理，进行相位设定后通过 PI 控制器进行相位闭环 ；闭环后的两分量进行正弦波合成，输出驱动信号；所述敏感轴检测信号作为载波信号经 LMSD 解调电路解调后，其同相分量经Butterworth 4 阶低通滤波器进行滤波处理，进行温度补偿后输出MEMS 陀螺仪的角速率；所述温度补偿是通过所述驱动轴检测信号作为载波信号经 LMSD 解调电路解调后，其同相分量经 Butterworth 4 阶低通滤波器进行滤波处理，进行相位设定后通过 PI 控制器进行相位闭环并通过 PI 控制器向滤波处理后的载波信号进行温度补偿。