[发明专利]雾霾颗粒物探测芯片及其制造方法

摘要

本发明提供一种雾霾颗粒物探测芯片及其制造方法，该芯片包括层状结构，从最底层到最上层依次为：玻璃基底、CdSe薄膜、贵金属纳米点阵列、银对梳妆电极系统、氧化铝薄膜和增透膜。采用本发明提供的雾霾颗粒物探测芯片，通过银对梳妆电极系统可以实现在保证较小的感光区域宽度的同时尽量增大感光面积，较小的感光区域宽度可以降低芯片的响应时间，并通过贵金属纳米点阵列放大光信号，从而提高芯片的检测灵敏度。

主权项

一种雾霾颗粒物探测芯片，应用于包括激光设备、雾霭颗粒物探测芯片和显示设备的大气颗粒物探测装置，所述激光设备用于发射激光，所述激光通过所述雾霭颗粒物探测芯片的表面；所述雾霭颗粒物探测芯片用于接收被散射的激光，产生电信号并传输电信号到所述显示设备；所述显示设备用于处理所述电信号兵显示雾霭颗粒物的探测结果；其特征在于，所述雾霭颗粒物探测芯片包括层状结构，从最底层到最上层依次为：玻璃基底、CdSe薄膜、贵金属纳米点阵列、银对梳妆电极系统、氧化铝薄膜和增透膜，其中，所述增透膜的中心波长与所述激光的波长相同，用于减少被散射的激光在通过所述雾霭颗粒物探测芯片的表面时的反射强度，最大限度通过所述激光；所述氧化铝薄膜用于通过所述激光，并隔离空气避免氧气对内层薄膜和纳米点阵列的损伤；所述银对梳妆电极系统包括相互平行但不交叉的银梳妆薄膜电极和银梳妆薄膜对电极，用于收集所述CdSe薄膜产生的电信号，将电信号传输至所述显示设备；所述贵金属纳米点阵列用于通过表面等离子体共振作用对激光信号进行放大，并传输放大后的激光信号至所述CdSe薄膜；所述CdSe薄膜用于在放大后的激光信号的作用下产生电信号；所述玻璃基底用于承载上层结构并对所述电信号绝缘。