[发明专利]用纳米/微球光刻制造纳米/微线太阳能电池

摘要

提供用于制造基于纳米线/微线的太阳能电池的技术。在一个方面中，提供用于制造太阳能电池的方法。该方法包括以下步骤。提供掺杂衬底。在该衬底上沉积单层球体。该球体包括纳米球、微球或其组合。修整该球体以在单层中的单独球体之间引入空间。修整后的球体被用作掩模以对该衬底中的接线进行图案化。该接线包括纳米线、微线或其组合。在图案化的接线上形成掺杂发射极层。在该发射极层之上沉积顶部接触电极。在该衬底的与该接线相反的一侧上沉积底部接触电极。

主权项

一种用于制造太阳能电池的方法，包括如下步骤：提供掺杂衬底；在所述衬底上沉积单层球体，所述球体包括纳米球、微球或其组合；修整所述球体以在所述单层中的单独球体之间引入空间；使用修整后的球体作为掩模以对所述衬底中的接线进行图案化，所述接线包括纳米线、微线或其组合；在图案化的接线上形成掺杂发射极层，其中所述发射极层由与所述衬底和所述接线不同的、更高带隙的材料形成，从而在其间形成异质结，并且其中所述发射极层被形成为覆盖所述接线的所有暴露表面和所述衬底的顶部表面的共形层，所述发射极层是透光的并且用作窗发射极层；在所述发射极层上直接沉积顶部接触电极，其中所述顶部接触电极包括在所述发射极层之上沉积并且包围每个所述接线的共形层；以及在所述衬底的与所述接线相反的一侧上沉积底部接触电极。