[发明专利]用于检测对象的3D结构的设备有效
| 申请号： | 201410170082.4 | 申请日： | 2014-04-25 |
| 公开（公告）号： | CN104121851B | 公开（公告）日： | 2018-03-20 |
| 发明（设计）人： | 不公告发明人 | 申请（专利权）人： | 沃柯有限公司 |
| 主分类号： | G01B11/00 | 分类号： | G01B11/00 |
| 代理公司： | 中国专利代理(香港)有限公司72001 | 代理人： | 刘金凤,胡莉莉 |
| 地址： | 德国库*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 用于检测对象的3D结构的设备，包括第一激光发射器，其产生具有第一波长的激光辐射；第二激光发射器，其产生具有第二波长的激光辐射，其中，第一波长不同于第二波长；光学器件，其中的至少一个是分束器，所述分束器在每种情况下将所述激光发射器的激光辐射分裂成参考辐射和照明辐射，其中，所述照明辐射撞击在要测量的对象上，被所述对象作为对象辐射反射并与参考辐射相干涉；以及检测器，其接收从其那里形成的干涉图。激光发射器被定位为使得第一激光发射器的照明辐射和第二激光发射器的照明辐射以不同的入射角撞击在对象上。设备还包括测量装置，其测量激光发射器的激光辐射的两个波长，并影响对干涉图的记录。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 检测 对象 结构 设备 | ||
【主权项】：
一种用于检测对象（15）的3D结构的设备，包括：‑第一激光发射器（2a），其产生具有第一波长的激光辐射，‑第二激光发射器（2b），其产生具有第二波长的激光辐射，其中，第一波长不同于第二波长，‑光学器件（4、9、10、13、14、38、50、53、56），其中的至少一个是分束器（4、48、50、54），所述分束器在每种情况下将激光发射器（2、2a、2b）的激光辐射分裂成参考辐射（5）和照明辐射（6），其中，照明辐射（6）撞击在要测量的对象（15）上，被对象（15）作为对象辐射（21）反射并与参考辐射（5）相干涉，以及‑检测器（12），其记录从其那里形成的干涉图，其特征在于，激光发射器（2、2a、2b）被定位为使得第一激光发射器（2a）的照明辐射（6）和第二激光发射器（2b）的照明辐射（6）以不同的入射角（β）撞击在对象（15）上，以及所述设备（1）包括测量装置（27），该测量装置测量激光发射器（2、2a、2b）的激光辐射的两个波长，并影响对干涉图的记录。
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