[发明专利]半自动对准机

摘要

本发明公开了一种半自动对准机，包括框架、工件台、楔形误差补偿机构、上片机构、覆盖机构、键合夹具定位机构、MVS光学机构和键合夹具自动翻转机构；其中，所述工件台安装于框架上，用于承载楔形误差补偿机构和上片机构进行X、Y、Rz三自由度运动；覆盖部件固定在框架上，并位于上片机构的上方，将所述键合夹具定位机构安装在覆盖机构上，用于实现键合夹具的定位夹紧；所述MVS光学机构安装于框架上，由三套单轴驱动器实现X、Y、Z三自由度运动；所述键合夹具自动翻转机构安装于所述框架上，用于实现键合夹具的自动翻转。本发明的半自动对准机可以提高设备的稳定性，减少人为操作误差，提高精度，降低劳动强度，提高产率。

主权项

一种半自动对准机，其特征在于，包括：框架、工件台、楔形误差补偿机构、上片机构、覆盖机构、键合夹具定位机构、MVS光学机构和键合夹具自动翻转机构；其中，所述工件台安装于所述框架上，用于承载所述楔形误差补偿机构和上片机构进行X、Y、Rz三自由度运动；所述覆盖机构固定在所述框架上，并位于所述上片机构的上方，将所述键合夹具定位机构安装在所述覆盖机构上，用于实现键合夹具的定位夹紧；所述MVS光学机构安装于所述框架上，由三套单轴驱动器实现X、Y、Z三自由度运动，所述MVS光学机构包括：由上到下依次对应设置的CCD、光学构件、导杆气缸和物镜，所述导杆气缸上设有光源，所述三套单轴驱动器设置于光学构件一侧；所述键合夹具自动翻转机构安装于所述框架上，用于实现所述键合夹具的自动翻转。