[发明专利]非制冷光读出红外焦平面阵列结构和制作方法

摘要

本发明公开了一种非制冷光读出红外焦平面阵列结构和制作方法，该红外焦平面阵列结构包括透明衬底和悬空设置其上的金属反光板，该金属反光板上方依次设置有红外吸收介质层和黑硅红外吸收增强层；在金属反光板的左右两侧间隔对称设置有若对干悬臂梁和隔离梁，位于最内侧的悬臂梁一端与红外吸收介质层连接形成一体，位于两悬臂梁之间的隔离梁的两端分别与两悬臂梁之间连接形成一体，位于最外侧的悬臂梁一端向下弯折连接至透明衬底上形成锚爪支撑结构。其不仅工艺简单，能够后期工艺兼容，而且通过在阵列探测器的原始红外吸收层上制作黑硅介质层，能够大幅度增强红外吸收效率，从而大幅度提高器件的响应度和灵敏度。

主权项

一种非制冷光读出红外焦平面阵列结构，包括透明衬底(1)，其特征在于：在所述透明衬底上悬空设置一金属反光板(11)，该金属反光板上方依次设置有红外吸收介质层(12)和黑硅红外吸收增强层(13)；在所述金属反光板的左右两侧间隔对称设置有若干悬臂梁(14)和隔离梁(15)，所述金属反光板每一侧的悬臂梁和隔离梁交错分布且成对出现，位于最内侧的悬臂梁一端与所述红外吸收介质层连接形成一体，位于两悬臂梁之间的隔离梁的另一端向内弯折与内侧的悬臂梁的另一端连接形成一体且该悬臂梁的一端向外弯折与外侧的悬臂梁一端连接形成一体，位于最外侧的悬臂梁一端向下弯折连接至所述透明衬底上形成锚爪支撑结构。