[发明专利]一种测量化学气相沉积炉的原料蒸发量的方法

摘要

本发明提供了一种测量化学气相沉积炉内原料蒸发量的方法，本发明提供的方法采用测量组件对化学气相沉积炉的原料蒸发量进行测定，通过测定固体原料变为液体时的位移，以及液体蒸发过程中的位移，得到原料的蒸发量。本发明提供的方法采用的测量组件，其浮球组件设置在固体原料的顶部，能够实时反映原料的液面的变换；测量组件中的位移传感器组件探出化学气相沉积炉，从而能够实现对大设备、高炉膛的化学气相沉积炉的使用要求。而且得到的检测结果更加准确，能够实时反映原料的变换，从而精确的控制反应过程中原料的比例，提高产品的性能。

主权项

测量化学气相沉积炉的原料蒸发量的方法，包括以下步骤：将测量组件中的浮球组件置于化学气相沉积炉内的固体原料顶部；将所述固体原料熔化为液体，所述测量组件测得第一位移；将所述液体陆续变为蒸汽，测量组件测得第二位移；根据所述第一位移、第二位移与测定第一位移和第二位移的时间差，得到单位时间内的原料蒸发量；所述测量组件包括依次连接的浮球组件、与所述浮球组件相接的第一连杆、与所述第一连杆相接的连接头、与所述连接头相接的第二连杆和与所述第二连杆相接的位移传感器组件。