[发明专利]一种多功能等离子材料制备系统

摘要

本发明公开了一种多功能等离子材料制备系统，包括综合控制柜及系统电源，综合控制柜及系统电源分别连接压缩空气装置、第一等离子气体装置、第二等离子气体装置和去离子纯净冷却水装置，去离子纯净冷却水装置连接多功能工作台和等离子发生器，第一等离子气体装置、第二等离子气体装置分别连接等离子发生器，等离子多功能工作台内部安装有真空室，等离子多功能工作台上还安装有摄像装置，等离子多功能工作台连接计算机监视装置，等离子发生器还连接有原料供给装置，等离子多功能工作台内的真空室依次连接旋风产品收集气固分离装置、布袋产品收集及排风净化气体装置和真空泵抽真空装置。本发明的有益之处在于电极寿命长，可靠性高。

主权项

一种多功能等离子材料制备系统，其特征在于：包括综合控制柜及系统电源(5)，综合控制柜及系统电源(5)分别连接压缩空气装置(1)、第一等离子气体装置(2)、第二等离子气体装置(3)和去离子纯净冷却水装置(4)，去离子纯净冷却水装置(4)连接多功能工作台(6)和等离子发生器(7)，第一等离子气体装置(2)、第二等离子气体装置(3)分别连接等离子发生器(7)或PAS、SPS等离子活化烧结装置(14)，压缩空气装置(1)连接等离子发生器(7)或PAS、SPS等离子活化烧结装置(14)，等离子发生器(7)或PAS、SPS等离子活化烧结装置(14)安装在等离子多功能工作台(6)上，等离子多功能工作台(6)内部安装有真空室(13)，等离子多功能工作台(6)上还安装有摄像装置(15)，等离子多功能工作台(6)连接计算机监视装置(10)，等离子发生器(7)或PAS、SPS等离子活化烧结装置(14)还连接有原料供给装置(8)，等离子多功能工作台(6)内的真空室(13)连接旋风产品收集气固分离装置(9)，旋风产品收集气固分离装置(9)连接布袋产品收集及排风净化气体装置(11)，并同时连接真空泵抽真空装置(12)。