[发明专利]顶盖装置及工艺设备有效
| 申请号： | 201410174353.3 | 申请日： | 2014-04-28 |
| 公开（公告）号： | CN105088334B | 公开（公告）日： | 2018-01-09 |
| 发明（设计）人： | 赵海洋 | 申请（专利权）人： | 北京北方华创微电子装备有限公司 |
| 主分类号： | C30B25/08 | 分类号： | C30B25/08 |
| 代理公司： | 广州华进联合专利商标代理有限公司44224 | 代理人： | 李芙蓉 |
| 地址： | 100176 北京*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种顶盖装置及工艺设备，其顶盖装置包括喷水冷却部和上盖，喷水冷却部和上盖为分离式结构，喷水冷却部随上盖一起上下运动。其工艺设备包含石英腔和上述顶盖装置，顶盖装置安装在石英腔的上方。本发明顶盖装置及工艺设备，结构设计简单合理，保证石英腔不易损坏。 | ||
| 搜索关键词： | 顶盖 装置 工艺设备 | ||
【主权项】：
一种顶盖装置，包括喷水冷却部和上盖，其特征在于：所述喷水冷却部和所述上盖为分离式结构，所述喷水冷却部随所述上盖一起上下运动；所述顶盖装置下降时，所述喷水冷却部到达预定位置并停止下降，所述上盖持续下降。
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