[发明专利]半导体传感器校准装置、系统和方法有效
| 申请号： | 201410175473.5 | 申请日： | 2014-04-29 |
| 公开（公告）号： | CN103968876B | 公开（公告）日： | 2016-11-30 |
| 发明（设计）人： | 张波;蒋登峰;魏建中 | 申请（专利权）人： | 杭州士兰微电子股份有限公司 |
| 主分类号： | G01D18/00 | 分类号： | G01D18/00 |
| 代理公司： | 北京成创同维知识产权代理有限公司 11449 | 代理人： | 蔡纯;冯丽欣 |
| 地址： | 310012*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 公开了一种半导体传感器校准装置、系统和方法，所述半导体传感器校准装置包括：测试座，用于连接待校准半导体传感器，向处理器传输待校准半导体传感器测量获得的待校准测量值；参考传感器，用于根据外部物理量获取参考测量值；非易失性存储器，用于存储预先测量的与每一参考测量值对应的修正补偿值；处理器，分别与所述测试座、参考传感器和非易失性存储器连接，根据所述参考测量值查询对应的修正补偿值，并根据所述参考测量值和对应修正补偿值计算外部物理量的精确值，根据所述外部物理量的精确值和所述待校准测量值进行校准。该方案可以不依赖精确外部物理量输入并能精确标定校准半导体传感器，降低生产成本。 | ||
| 搜索关键词： | 半导体 传感器 校准 装置 系统 方法 | ||
【主权项】：
一种半导体传感器校准装置，其特征在于，包括：测试座，用于连接待校准半导体传感器，向处理器传输待校准半导体传感器测量获得的待校准测量值；参考传感器，用于根据外部物理量获取参考测量值；非易失性存储器，用于存储预先测量的与每一参考测量值对应的修正补偿值，其中，所述修正补偿值用于修正所述参考传感器输出的参考测量值获得外部物理量的精确值；处理器，分别与所述测试座、参考传感器和非易失性存储器连接，根据所述参考测量值查询对应的修正补偿值，并根据所述参考测量值和对应修正补偿值计算外部物理量的精确值，根据所述外部物理量的精确值和所述待校准测量值进行校准。
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