[发明专利]一种用于拉制硅芯的炉室在审
申请号: | 201410175538.6 | 申请日: | 2014-04-21 |
公开(公告)号: | CN103993350A | 公开(公告)日: | 2014-08-20 |
发明(设计)人: | 刘朝轩;史优才;王晨光 | 申请(专利权)人: | 洛阳金诺机械工程有限公司 |
主分类号: | C30B15/00 | 分类号: | C30B15/00;C30B28/10;C30B29/06 |
代理公司: | 暂无信息 | 代理人: | 暂无信息 |
地址: | 471009 河南省*** | 国省代码: | 河南;41 |
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摘要: | 一种用于拉制硅芯的炉室,涉及人工晶体领域,本发明通过在所述副炉室(1)上设有抽气口(4),在副炉室(1)和主炉室(3)之间设有阀门,实现了在硅芯拉制过程中,在不停炉的情况下将副炉室和主炉室形成两个密闭的腔体,对副炉室完成操作后,再但对对副炉室进行抽真空、充保护性气体,待主炉室与副炉室的压力达到平衡时,开启阀门,使主炉室和副炉室形成一个密闭的腔体,本发明具有结构简单,使用方便等特点,在需要取出拉制完成的硅芯更换籽晶夹头时无需停止对原料棒加热就可以完成操作,大大提高了硅芯的生产效率等。 | ||
搜索关键词: | 一种 用于 拉制 | ||
【主权项】:
一种用于拉制硅芯的炉室,包括副炉室(1)、主炉室(3)、抽气口(4)和阀门,其特征是:在所述副炉室(1)上设有抽气口(4),在副炉室(1)和主炉室(3)之间设有阀门形成所述的用于拉制硅芯的炉室。
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