[发明专利]一种激光设备获取激光焦点的方法有效
| 申请号： | 201410177205.7 | 申请日： | 2014-04-29 |
| 公开（公告）号： | CN104002039A | 公开（公告）日： | 2014-08-27 |
| 发明（设计）人： | 高子丰;苏培林;覃涛;吕洪杰;翟学涛;杨朝辉;高云峰 | 申请（专利权）人： | 深圳市大族激光科技股份有限公司;深圳市大族数控科技有限公司 |
| 主分类号： | B23K26/046 | 分类号： | B23K26/046 |
| 代理公司： | 深圳市君盈知识产权事务所(普通合伙) 44315 | 代理人： | 陈琳 |
| 地址： | 518000 广东省深*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明涉及激光工艺领域，具体涉及一种获取激光焦点的方法，所述步骤包括：确定焦点在Z轴坐标上对应范围H1；编制加工文件，将待加工文件设置为若干个加工层，每个加工层分别对应范围H1内的Z轴坐标；激通过软件操作系统将每个加工层的信息传输给加工扫描系统和Z轴运动控制系统，形成完整三维坐标系并得到加工图形；通过监测系统对不同加工层的加工图形进行线宽监测，得到多个线宽值；通过将多个线宽值按拟合为一条曲线，曲线上最细的点所对应的Z轴坐标即为焦点所在位置对应的Z轴坐标。本发明通过设计一种获取激光焦点的方法一方面提高了激光设备工艺调试的工作效率，另一方面可以准确获得激光加工焦点，保证激光器加工的性能。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 激光设备 获取 激光 焦点 方法 | ||
【主权项】：
一种激光设备获取激光焦点的方法，该激光设备包括软件操作系统、加工扫描系统、Z轴运动控制系统和监测系统，该Z轴控制系统上设置有聚焦系统，其特征在于，所述方法包括： (1)确定焦点在Z轴坐标上对应范围H1； (2)编制加工文件，将待加工文件设置为若干个加工层，每个加工层分别对应范围H1内的Z轴坐标； (3)通过软件操作系统将每个加工层的信息传输给加工扫描系统和Z轴运动控制系统，形成完整三维坐标系并得到加工图形； (4)通过监测系统对不同加工层的加工图形进行线宽监测，得到多个线宽值； (5)通过将多个线宽值按拟合为一条曲线，曲线上最细的点所对应的Z轴坐标即为焦点所在位置对应的Z轴坐标。
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