[发明专利]一种应用于溶胶镀膜技术的薄膜干燥方法有效

专利信息
申请号: 201410177342.0 申请日: 2014-04-29
公开(公告)号: CN103966577A 公开(公告)日: 2014-08-06
发明(设计)人: 田野;刘勇;罗飞;成波;刘大博 申请(专利权)人: 中国航空工业集团公司北京航空材料研究院
主分类号: C23C18/12 分类号: C23C18/12
代理公司: 中国航空专利中心 11008 代理人: 李建英
地址: 100095*** 国省代码: 北京;11
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摘要: 发明属于功能薄膜技术领域,尤其涉及一种应用于溶胶镀膜技术的薄膜干燥方法。本发明开发了一种应用于溶胶镀膜技术的薄膜加热干燥工艺。它不同于传统的对溶胶膜进行全表面均匀加热的方式,而是在薄膜的左右对称两侧施加定向热场,利用快速升温处理,从而在薄膜表面形成较大的温度梯度分布,最终实现薄膜从边缘向中心的逐次定型成膜。该工艺可以有效抑制薄膜干燥过程中的收缩变形,能耗低且制备周期短,其工艺简单可控,不需要昂贵的设备,同时对需制的薄膜材料、尺寸以及衬底种类无特殊要求,为溶胶镀膜中的干燥工艺提供了一种低成本、短周期、可工业化实施的新技术。
搜索关键词: 一种 应用于 溶胶 镀膜 技术 薄膜 干燥 方法
【主权项】:
一种应用于溶胶镀膜技术的薄膜干燥方法,其特征在于,它包括以下步骤:(1)将所需制备的金属化合物的无机盐或金属醇盐与无机或有机溶剂以及其它辅助添加剂充分混合反应,配制成所需膜材的前驱体溶胶并进行陈化;(2)将溶胶通过提拉、旋涂或者喷雾热分解方法涂覆在清洁的衬底基片上形成湿膜;(3)将涂覆溶胶的基片水平放入加热炉腔体正中,调整加热炉腔室内的加热源仅对称对在炉腔内的涂覆溶胶的基片左右两侧加热,加热至80~300℃,升温速率大于5℃/s,保温1~10min,使其干燥定型成膜,随后冷却至室温取出,即得到所需的干燥薄膜。
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